我公司的气浮平移台产品,一般采用直线电机、光栅尺配合气浮导轨的方法,分辨率好于200nm,精度等同于光栅精度。
也可提供双频激光反馈控制,稳定精度可达20nm,有成功案例。
采取隔尘措施后,可应用于高精度生产场合。
可提供超长行程单轴工作台。
也可采用音圈电机、高精度丝杠配合我们独创的5自由度气浮联轴器,驱动工作台。
平移台可以安装气浮主轴和气浮转台。
特别提示:以上1~3轴气浮平移台的供应由天津中精微仪器设备有限公司自行免费发布,仅供参考。该1~3轴气浮平移台产品信息的真实性、准确性及合法性未证实。请谨慎采用,风险自负。如需了解更多关于1~3轴气浮平移台的产品规格型号及批发价格或产品图片等详细参数说明资料;您可以进入天津中精微仪器设备有限公司网站咨询。
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